ТГц эталон Фабри-Перо

Скачать статью ТГц эталон Фабри-Перо (PDF, 382 KB)



ТГц эталон Фабри-Перо (ТЭФП) является интерферометром Фабри-Перо с фиксированным расстоянием между отражающими поверхностями и представляет собой плоскопараллельную пластину из высокоомного кремния. В отличие от стандартного плоскопараллельного окна эталон изготавливается с хорошей плоскостностью и параллелизмом. Толщина эталона измеряется с высокой точностью.

Общая спецификация:

Материал  HRFZ-Si
 Тип  ТГц Эталон Фабри-Перо
 Диапазон диаметров, мм  25.4-150
 Чистая апертура, %  >=90

ТЭФП используется в качестве эталона толщины при калибровке TDS систем, юстировке узкополосных источников ТГц излучения и при спектральном измерении толщин материалов в ТГц диапазоне. Также ТЭФП может выполнять функцию узкополосного фильтра (при небольшом наклоне эталона можно перестраивать полосу пропускания).

Пример использования

В качестве примера использования ТЭФП ниже описана процедура калибровки TDS системы для последующего точного определения толщин образцов. Схема экспериментальной установки представлена на рисунке 1.


Тгц эталон Фабри-Перо

Рис. 1. Схема экспериментальной установки

Необходимо измерить спектр пропускания ТЭФП, а затем определить расстояние между интерференционными максимумами (рис. 2). Зная расстояние и коэффициент преломления высокоомного кремния (3,416), можно вычислить толщину ТЭФП.


Спектр пропускания ТЭФП толщиной 3.042 мм в диапазоне 0.5 ÷ 1 ТГц

Рис.  2. Спектр пропускания ТЭФП толщиной 3.042 мм в диапазоне 0.5 ÷ 1 ТГц

Вычисленная толщина должна совпадать с указанной в сертификате качества. Если значения не совпадают, то требуется отладка TDS системы.

ТЭФП со следующими параметрами поставляются со склада:

Артикул

Диаметр

Номинальная 
толщина

Индивидуальные параметры эталона

Геометрическая
толщина*

Область
свободной
дисперсии
(FSR)**

Ширина полосы
(ширина интерференци-
онного максимума)
FWHM) Δf

Резкость
(F)***

мм мм мм ГГц ГГц -

TEFPHRFZ-
Si-D25.4-T3

25.4 3.0 3.042 14.4 5.5 2.6

*измеряется индивидуально для каждого эталона с точностью до 0.001 мм.
**Область свободной дисперсии (FSR - Free Spectral Range) - это частотное расстояние между продольными модами ТЭФП. Величина области свободной дисперсии определяется по формуле FSR=c/(2∙l∙n), где c - скорость света в вакууме, l - толщина ТЭФП, n - коэффициент преломления высокоомного кремния.
***Резкость (F - Finesse) - это отношение величины области свободной дисперсии к ширине полосы (FWHM). Величина резкости определяется по формуле F=(2∙π)/(-ln (R^2 ) ), где R - коэффициент отражения ТЭФП.

Проверить их наличие можно на Складе оптики (раздел ТГц окна).
Возможно изготовление ТЭФП по спецификации заказчика.
Для получения котировки, пожалуйста, заполните Форму запроса.